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LFS4001系列气体质量流量传感器
LFS4001系列气体质量流量传感器
一、产品介绍
LFS4001系列气体质量流量传感器是专门为各类小流量气体测量和过程控制而设计的，这一系列传感器均采用微机电系统流量传感芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。独特的封装技术使之在相同的管径下可测量不同范围的流量，成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量传感器并配以多种信号输出，通过通讯接口可实现对传感器的灵活配置与参数查询。
二、产品特点
■响应速度快
■低功耗、低压损
■传感器的零点稳定性高
■传感器灵敏度高、有极小的始动流量
■全量程高稳定性、高精度度和优良的重复性
■在单个芯片上实现了多传感器集成，使传感器的量程比大大提高
■传感器芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量。
三、技术参数
|
型号 |
LFS4001 |
单位 |
|
通径 |
3.0 |
mm |
|
流量范围 |
30、100、200、500、1000 |
SCCM（毫升/分钟） |
|
量程比 |
100：1 |
|
|
精度 |
±1.5 |
% |
|
重复性 |
0.25 |
%读数 |
|
响应时间 |
4 |
秒 |
|
工作电源 |
8-24VDC |
|
|
输出信号 |
0.5-4.5VDC、RS232 |
|
|
最大工作压力 |
0.5 |
MPa |
|
工作温度 |
-5～+55 |
℃ |
|
储存温度 |
-20～+65 |
℃ |
|
连接方式 |
可拆卸的软管接头或根据客户需求订制 |
|
四、选型编码
|
LFS4001- |
□ - □ - □ 说 明 |
|||
|
最大 流量 |
30 |
30 mL |
||
|
100 |
100 mL |
|||
|
200 |
200 mL |
|||
|
500 |
500 mL |
|||
|
1000 |
1000 mL |
|||
|
输出方式 |
C |
RS232 |
||
|
V |
模拟电压(0.5-4.5VDC) |
|||
|
CV |
RS232+模拟电压(0.5-4.5VDC) |
|||
|
测量介质 |
A |
空气 |
||
|
C |
二氧化碳 |
|||
|
E |
氦气 |
|||
|
H |
氢气 |
|||
|
N |
氮气 |
|||
|
O |
氧气 |
|||
|
R |
氩气 |
|||
注明：最大流量的单位为sccm，比如100代表最大流量为100sccm；对二氧化碳，最大流量可选30，100，200，500和750，不可选1000；传感器的标准输出为模拟电压，RS232为选项。
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